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https://rinacional.tecnm.mx/jspui/handle/TecNM/2624| Title: | Diseño y construcción de un sensor de gas con películas delgadas de óxidos metálicos. |
| Authors: | Ruiz Tabasco, Adriana Noemi |
| metadata.dc.subject.other: | ingeniería, construcción, diseño, gas, metal, óxidos, laboratorios. |
| Issue Date: | 2017-12-13 |
| Publisher: | Tecnológico Nacional de México |
| metadata.dc.publisher.tecnm: | Instituto Tecnológico de Mérida |
| Description: | En este trabajo de tesis se presenta el proceso de diseño y construcción de un sensor de gas basado en películas delgadas de óxidos metálicos.Las labores de investigación, experimentación y desarrollo se llevaron a cabo en los laboratorios del CINVESTAV-IPN Unidad Mérida. Para el cumplimiento de los objetivos trazados, se realizaron estudios de la técnica del crecimiento de películas delgadas por sputtering, las caracterizaciones cristalinas de las películas delgadas se obtuvieron por la técnica de difracción de rayos X, microscopía electrónica de barrido y espectroscopía por dispersión de energía de rayos X. La película sensora está basada en óxidos de molibdeno usando como electrodo una película delgada de óxido de indio y estaño.El rayado en la película sensora se realizó por medio de una CNC de corte láser utilizando un algoritmo diseñado en LabView para la geometría del patrón, y se comprobó el aislamiento de los electrodos al realizar el rayado por medio de un análisis de microscopia electrónica de barrido y espectroscopia de energía dispersiva. Se propuso una técnica para la medición de la sensibilidad a la exposición al gas de la película delgada, así como técnicas para el acondicionamiento dela señal que el sensor nos arroja al ser expuesto al gas, las cuales consisten en el método de cuatro puntas con un puente de wheatstone conectado aun amplificador de instrumentación y la medición de la variación de resistencia con un amplificador lock-in. Por último se presenta el CAD del diseño propuesto para el montaje del sensor. |
| metadata.dc.type: | info:eu-repo/semantics/masterThesis |
| Appears in Collections: | Maestría en Ingeniería |
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| RUIZ-17-DISE+æO Y CONSTRUCCI+ôN.pdf | TESIS DE MAESTRIA | 4.16 MB | Adobe PDF | View/Open |
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